Product laser
產(chǎn)品中心
支持G6代OLED TFT基板
兼容性好，支持OLED制程中所有膜層材料修復(fù)（P-Si/Mo/Ti /Al/ITO/Ag等）
選配靈活，可根據(jù)客戶制程技術(shù)任意配置
修復(fù)成功率≥99.9%
精密的光路控制系統(tǒng)，高精度對位及定位精度
對接CIM系統(tǒng)，智能化/閉環(huán)反饋
| 設(shè)備尺寸 | 3600mm(W) x 4100mm(L)x 3400mm(H) |
| 設(shè)備環(huán)境（潔凈度） | 低于100級 |
| 玻璃基板尺寸 | 支持G4.5/G6代 |
| 激光輸出穩(wěn)定性 | ≤ 2%，RMS |
| 平臺精度 | 重復(fù)定位精度≤ ±1μm；定位精度<±3μm |
| 薄膜類型 | P-Si，Mo，Ti /Al/ Ti，ITO/Ag/ITO 等 |
| 設(shè)備產(chǎn)能 | 循環(huán)周期:≤60s&帶頂升機構(gòu) |
